電動氣門研磨機(內燃機修理)這里我們介紹一種化學機械研磨機載具膜預防保養(yǎng)方法,包括下列步驟:(a)一化學機械研磨機上,其具有一研磨主軸、可拆裝地設置于該研磨主軸上一研磨具,其該研磨載具具有數(shù)個抽氣孔、一可拆裝導環(huán)以及一載具膜,用激光預先加工所述載具膜上與該抽氣孔對應數(shù)個孔洞;(b)當該化學機械研磨機需預防保養(yǎng)時,將該研磨載具從該研磨主軸上拆下; 電動氣門研磨機(內燃機修理)(c)將該導環(huán)從該研磨載具拆下且去除原有載具膜后,對該研磨載具進行清潔處理;(d)將新載具膜與對孔板對準,搶購其該對孔板上具有與該抽氣孔對應數(shù)個*銷孔,且每一*銷孔上設有一固定銷,當該載具膜與該對孔板對準時,每一固定銷穿過該孔洞;(e)將該載具膜與該對孔板一起放置該研磨載具上,使每一固定銷依序穿過對應孔洞、抽氣孔;(f)將該載具膜粘貼該研磨載具上,且移去該對孔板; 電動氣門研磨機(內燃機修理)以及(g)將該導環(huán)安裝至該研磨載具后,將該研磨載具安裝至該研磨主軸上。
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